一种高灵敏度的MEMS流量传感器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110266953.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113029264A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113029264A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘娜 |
| 地址 | 266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高灵敏度的MEMS流量传感器及其制作方法，该流量传感器包括：衬底，设有隔热腔体，由衬底的上表面或下表面向内凹入形成；第一、第二介质层，依次形成于衬底的上表面，且第一、第二介质层在隔热腔体上方向上弯曲；加热元件及感温元件，形成于第二介质层的上表面；绝缘层，覆盖加热元件及感温元件，且局部刻蚀出接触孔；金属层，形成于绝缘层上，部分金属层通过接触孔与加热元件及感温元件连接。本发明通过在第一、第二介质层上预加压应力，使其在隔热腔体释放后发生形变，形成弯曲状的悬浮膜，以此来实现加强对流效果、提高换热效率的目的，从而增大上下游感温元件之间的温差，有效提高器件的灵敏度。 |
