基于压缩态光源结构与双透射光结构的迈克尔逊干涉仪
基本信息
申请号 | CN202120536863.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214224163U | 公开(公告)日 | 2021-09-17 |
申请公布号 | CN214224163U | 申请公布日 | 2021-09-17 |
分类号 | G01D5/26(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 华平壤;张绘平 | 申请(专利权)人 | 派尼尔科技(天津)有限公司 |
代理机构 | 北京沁优知识产权代理有限公司 | 代理人 | 甄丹凤 |
地址 | 300000天津市滨海新区经济技术开发区黄海路276号泰达中小企业园2号楼602 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及高精密度的干涉测量技术领域,公开了一种基于压缩态光源结构与双透射光结构的迈克尔逊干涉仪,包括:压缩态光源结构以及双透射光干涉结构,所述双透射光干涉结构设置在所述压缩态光源结构的输出光路上;所述双投射光干涉结构包括成像装置以及接收装置,所述成像装置与所述接收装置连接,所述成像装置用于产生明暗交替的光斑干涉图样。该装置了进行了信号的增强和噪声的降低,提高了灵敏度降低了成本。 |
