基于压缩态光源结构与双透射光结构的迈克尔逊干涉仪

基本信息

申请号 CN202120536863.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214224163U 公开(公告)日 2021-09-17
申请公布号 CN214224163U 申请公布日 2021-09-17
分类号 G01D5/26(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 华平壤;张绘平 申请(专利权)人 派尼尔科技(天津)有限公司
代理机构 北京沁优知识产权代理有限公司 代理人 甄丹凤
地址 300000天津市滨海新区经济技术开发区黄海路276号泰达中小企业园2号楼602
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及高精密度的干涉测量技术领域,公开了一种基于压缩态光源结构与双透射光结构的迈克尔逊干涉仪,包括:压缩态光源结构以及双透射光干涉结构,所述双透射光干涉结构设置在所述压缩态光源结构的输出光路上;所述双投射光干涉结构包括成像装置以及接收装置,所述成像装置与所述接收装置连接,所述成像装置用于产生明暗交替的光斑干涉图样。该装置了进行了信号的增强和噪声的降低,提高了灵敏度降低了成本。