一种光路复用双频干涉仪装置
基本信息
| 申请号 | CN202120546580.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214372286U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214372286U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | G01B11/14（2006.01）I;G01B11/26（2006.01）I;G01B9/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 华平壤;史月玲 | 申请（专利权）人 | 派尼尔科技（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 北京沁优知识产权代理有限公司 | 代理人 | 甄丹凤 |
| 地址 | 300000天津市滨海新区经济技术开发区黄海路276号泰达中小企业园2号楼602 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及干涉仪技术领域，公开了一种光路复用双频干涉仪装置，包括激光器，所述激光器的输出光路上连接有检测器，所述检测器的输出光路上设有耦合镜组，所述耦合镜组安装于待测物上；所述检测器包括1/4玻片，所述1/4玻片的输出光路上设有第一分光镜，所述第一分光镜的输出光路上设有第二分光镜，所述第二分光镜的输出光路上连接有用于测量待测物运动长度的测长通道和测量转动角度的测角通道。该装置同时测量距离、角度两个物理量，并提高测量精度和测量速度。 |
