一种用于痕量气体测量的激光光谱仪

基本信息

申请号 CN202120581608.3 申请日 -
公开(公告)号 CN214472744U 公开(公告)日 2021-10-22
申请公布号 CN214472744U 申请公布日 2021-10-22
分类号 G01N21/31 分类 测量;测试;
发明人 华平壤;张绘平 申请(专利权)人 派尼尔科技(天津)有限公司
代理机构 北京沁优知识产权代理有限公司 代理人 贾立庆
地址 300000 天津市滨海新区经济技术开发区黄海路276号泰达中小企业园2号楼602
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种用于痕量气体测量的激光光谱仪,包括气体监控管路,气体监控管路包括主监控管线和循环单元,循环单元包括依次连接的第二单向阀、光谱仪以及减压阀,循环单元与主监控管线的两端分别连接形成闭环回路,实现对气体的实时监控;光谱仪外部还设置有光谱仪温控装置,用于控制光谱仪所处环境的温度。本实用新型通过循环单元与主监控管线之间形成闭合环路,实现对气体压强以及流量的实时监控,保证检测环境的密闭性,避免造成环境污染;通过设置载气稳压单元和干燥单元,实现对流经气体压力和流量的控制和对流经气体的干燥,提高检测精度;通过设置光谱仪温控装置,实现稳定控制光谱仪所处环境的温度,提高对光谱仪的检测精度。