一种玻璃组件键合的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110080428.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112919815A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112919815A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | C03C15/00;C03C23/00;C03B23/20 | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 屈飞;韩立;张贺 | 申请（专利权）人 | 杭州中科神光科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 刘丹丹 |
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北二条6号中科院电工所 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光学组件技术领域，特别涉及一种玻璃组件键合的方法。本发明先将玻璃元件进行氧等离子体刻蚀处理，去除玻璃表面的污染物，改善玻璃表面的亲水性能；然后进行氩气‑氧气等离子体刻蚀处理，利用氩离子大的轰击作用，在玻璃表面打开Si‑O键、Al‑O键和B‑O键，有利于后续在玻璃表面引入H+基团和OH‑基团，对活化的玻璃表面钝化，同时为自发键和提供条件；然后进行羟基自由基溶液浸泡，利用羟基自由基活性高的特点，氧化去除玻璃转移过程中玻璃表面在空气中吸附的污染物，同时羟基进入Si‑O键、Al‑O键和B‑O键的断裂形成的活性位置，在玻璃表面引入OH‑基团，有利于提高玻璃表面键合强度。 |
