双通道双波长干涉检测装置
基本信息
| 申请号 | CN201610551583.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106197258B | 公开（公告）日 | 2019-06-18 |
| 申请公布号 | CN106197258B | 申请公布日 | 2019-06-18 |
| 分类号 | G01B9/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘世杰; 周游; 白云波; 鲁棋; 张志刚; 王微微; 徐天柱 | 申请（专利权）人 | 杭州中科神光科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;杭州光学精密机械研究所 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种双通道双波长干涉检测装置，该装置包括第一激光光源干涉仪主机、第二激光光源干涉仪主机、转折反射镜、滑动导轨、扩束次镜、准直主镜和标准透射镜。其中第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机到转折反射镜之间的空间光束为第一小口径测量通道，标准透射镜后的光束为第二大口径测量通道。第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机分别可以输出两种不同的激光波长。测量时将待测反射镜置于光路中，本发明装置可以同时提供两种测量通道和测量波长，适合不同口径和对测量波长有特殊要求的光学元件波前畸变的测量。 |
