一种激光光束平顶光整形装置及其工作方法
基本信息
申请号 | CN202110876392.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113467096A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113467096A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | G02B27/09(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;B23K26/06(2014.01)I;B23K26/064(2014.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 赵晓杰;邹达;黎凯 | 申请(专利权)人 | 英诺激光科技股份有限公司 |
代理机构 | 深圳市精英专利事务所 | 代理人 | 李燕娥 |
地址 | 518000广东省深圳市南山区科技园北区朗山二路8号清溢光电大楼305(办公场所) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明实施例公开了一种激光光束平顶光整形装置及其工作方法,该装置包括:激光器、分束系统、干涉控制系统、合束系统以及光学元件,激光器与分束系统连接,分束系统与干涉控制系统连接,干涉控制系统与合束系统连接,合束系统与光学元件连接。本发明实施例通过设置激光器、分束系统、干涉控制系统、合束系统以及光学元件,激光器发出的光束,经过分束系统处理后得到多路光源,再由干涉控制系统进行处理以防止光斑合成后发生干涉的问题,通过合束系统将各路光源重新合束,再通过光学元件聚焦在焦平面上,入射光源为高斯光束,对入射光波前不敏感,整个装置采用的器件成本低,能获得接近入射光束衍射极限大小,稳定性高。 |
