宽范围大电流高维持电压的双端ESD集成保护器件及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201510008849.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104617094B | 公开（公告）日 | 2018-04-17 |
| 申请公布号 | CN104617094B | 申请公布日 | 2018-04-17 |
| 分类号 | H01L27/04;H01L21/77 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 廖智;赵建明;黄平;徐开凯;赵国;钟思翰;王威;胡兴微;徐彭飞;蒋澎湃;陈勇;夏建新 | 申请（专利权）人 | 四川绿然电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄科诚专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 电子科技大学;四川蓝彩电子科技有限公司;四川绿然电子科技有限公司;上海朕芯微电子科技有限公司 |
| 地址 | 611731 四川省成都市高新区(西区)西源道2006号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种宽范围大电流高维持电压的双端ESD集成保护器件及其制备方法，其中宽范围大电流高维持电压的双端ESD集成保护器件由下至上依次设有金属层，N+衬底、N‑外延层、二氧化硅层，所述N‑外延层顶端设有两个对称的、贯通二氧化硅层的P+有源区，所述每个P+有源区的外围设有保护环，在所述保护环的外围还设有场限环，P+型有源区通过接触孔引出两个金属电极，并在接触孔四周的二氧化硅层上设有金属场板。本发明采用两个背靠背二极管结构的双端集成器件作为高压ESD保护器件，具有结构简单、成本低、耐压性高等优点。本发明适用于高电压下对器件的ESD/ESO的保护。 |
