预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法
基本信息
| 申请号 | CN202010502706.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111399166B | 公开（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申请公布号 | CN111399166B | 申请公布日 | 2020-07-10 |
| 分类号 | G02B7/09(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 蔡志国;江俊龙 | 申请（专利权）人 | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 地址 | 215011江苏省苏州市高新区火炬路85号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法，镜头模组用于曝光设备，镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于镜头安装底板上，曝光设备包括底座、平行设置于底座上的两个支架、连接两个支架的横梁以及镜头模组，镜头模组安装于横梁上。本发明提出了一种可独立预调整的镜头模组，后续再将预调整之后的镜头模组组装至曝光设备中，可大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。 |
