直写曝光机

基本信息

申请号 CN202120011233.7 申请日 -
公开(公告)号 CN213934539U 公开(公告)日 2021-08-10
申请公布号 CN213934539U 申请公布日 2021-08-10
分类号 G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 蔡志国;江俊龙 申请(专利权)人 苏州微影激光技术有限公司
代理机构 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 郭红岩
地址 215011江苏省苏州市高新区火炬路85号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种直写曝光机,直写曝光机包括多个打标装置、承载机台、设于承载机台上方的曝光装置和位置获取装置、以及遮光条,承载机台的上表面包括承载面以及位于承载面外且相邻的两个边缘,相邻两个边缘分别开设有第一凹槽和第二凹槽,遮光条包括嵌装于第一凹槽的第一段和嵌装于第二凹槽的第二段,遮光条开设有与多个打标装置一一对应的多个透光孔,其中部分透光孔设于第一段并沿第一方向间隔排布,其余透光孔设于第二段并沿垂直于第一方向的第二方向间隔排布,多个打标装置设于遮光条的下方,且每个打标装置的出光口至少部分暴露于其所对应的透光孔中,可以降低组装误差、机台热胀冷缩对打标标记的影响。