激光合束装置及具有其的曝光镜头、直写式曝光装置
基本信息
| 申请号 | CN202022978408.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213545034U | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN213545034U | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 龚田;雎鹏;马云云 | 申请（专利权）人 | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈晓敏 |
| 地址 | 215011江苏省苏州市高新区火炬路85号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种激光合束装置及具有其的曝光镜头、直写式曝光装置，激光合束装置包括固定单元、合束单元、脉冲激光器及光纤激光器，固定单元包括第一、第二输入接口及第一、第二输出端；合束单元位于输出端的出光路径上；脉冲激光器配接至第一输入接口并输出第一光束；光纤激光器配接至第二输入接口并输出第二光束；合束单元包括光学镜片及光积分器，光学镜片的第一光轴、第一光束的第一中心轴及第二光束的第二中心轴相互平行，第一、第二光束直接依次经过光学镜片及光积分器，且光积分器进行合束处理。本实用新型的激光合束装置可省略滤光片的使用，降低了制作难度，提高了效率，且避免了脉冲激光器使用光纤传输，可大大降低合束损耗。 |
