扫描式激光直接成像的同步方法
基本信息
| 申请号 | CN201910179959.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111694220A | 公开（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申请公布号 | CN111694220A | 申请公布日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 蔡志国;谢荣先 | 申请（专利权）人 | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市合道英联专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 地址 | 215009江苏省苏州市高新区火炬路85号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种扫描式激光直接成像的同步方法，确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据，在启动曝光后，以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期，在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值，根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。本发明将多种影响因素添加至计算模块中，且每个曝光条带对应的误差数据即为真实的误差数据，运算更合理，结果更准确；能够将每个曝光条带整体误差控制在一个运动机构输出脉冲范围内。 |
