一种晶圆生产用清洁装置
基本信息
| 申请号 | CN202022923088.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214289613U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214289613U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 吴继勇 | 申请（专利权）人 | 江苏宿芯半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 223800江苏省宿迁市宿城区宿城经济开发区西区古城路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆生产用清洁装置，涉及电子元件加工技术领域。本实用新型包括容纳箱、输送带、顶盖和清洁机构，容纳箱内部的四角对称固定有支柱，支柱顶部的内侧转动连接有滚轴，两根滚轴之间包覆连接有输送带，通过滚轴的旋转使输送带运转输送，输送带上设置有清洁机构，清洁机构用于对晶圆的固定，以保证不会互相碰撞，容纳箱的上端固定有顶盖，顶盖覆盖于输送带上方，顶盖用于固定管道类的输水结构，同时防止水流四射。本实用新型通过清洁机构、顶盖、容纳箱，解决了晶圆清洁时缺少相应的辅助固定结构和晶圆清洁不彻底，水资源耗费大的问题。 |
