一种旋转式气相沉积炉的冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202021046515.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212253683U | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN212253683U | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | F27D9/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 王孟光;高贵华;陈志强 | 申请（专利权）人 | 洛阳联创锂能科技有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 洛阳联创锂能科技有限公司 |
| 地址 | 471039河南省洛阳市宜阳县产业集聚区建业路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种旋转式气相沉积炉的冷却装置，旋转式气相沉积炉呈中空的圆柱体，冷却装置包括热传导冷却机构和喷淋水冷却机构；热传导冷却机构包括多个均布于旋转式气相沉积炉外壁上的翅片；喷淋水冷却机构包括冷却筒，冷却筒包括圆筒以及与圆筒的两端部满焊连接的环形挡板I，旋转式气相沉积炉通过环形挡板I上的中心孔贯穿与其间隙配合的冷却筒，冷却筒的上部设有通过管路与储水池中的水泵连接的进水管，进水管上间隔设有多个喷头，冷却筒的下部竖直设有多个出水管，出水管远离冷却筒的一端与换热器管路连接后延伸至储水池中。该冷却装置将热传导冷却机构和喷淋水冷却机构相结合，提高了旋转式气相沉积炉的散热速度，实现了快速冷却。 |
