静电保护单元及其测试方法

基本信息

申请号 CN202110784370.9 申请日 -
公开(公告)号 CN113506799A 公开(公告)日 2021-10-15
申请公布号 CN113506799A 申请公布日 2021-10-15
分类号 H01L27/02(2006.01)I;G01R29/12(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 曾健忠 申请(专利权)人 深圳天狼芯半导体有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 阳方玉
地址 518000广东省深圳市福田区车公庙金润大厦18E
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及集成电路制造,提供了一种静电保护单元及其测试方法,静电保护单元包括:静电释放晶体管,在有静电时控制静电释放晶体管打开以释放静电的静电检测电路,以及可靠测试电路,可靠测试电路用于检测所述静电释放晶体管在预设时长内的导通次数,若所述预设时长内的导通次数超过预设次数,则控制所述静电释放晶体。通过侦测静电释放晶体管是否频繁的打开,并设定一个合理的开启次数,只要静电释放晶体管打开的次数超过预设次数,即可判定静电保护单元发生异了,应予以强制关闭,以用于应对在先进或是高压工艺开发时,器件漏电可能引发静电防护电路异常动作,以避免器件、芯片及测试机严重损坏。