一种MEMS麦克风结构及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202011117387.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114390415A | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN114390415A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 王青松 | 申请（专利权）人 | 瑶芯微电子科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘星 |
| 地址 | 201207上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区芳春路400号1幢3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种MEMS麦克风结构及其制作方法，该MEMS麦克风结构包括基板、振膜及支架，其中，所述基板中设有在垂直方向上贯穿所述基板的空腔；所述振膜悬设于所述空腔上方，所述振膜包括折叠结构，所述折叠结构在垂直方向上来回弯折；所述支架连接于所述振膜与所述基板之间，且所述折叠结构与所述振膜的中心之间的距离小于所述支架与所述振膜的中心之间的距离。本发明中，振膜包括用于增加振膜柔性程度和降低振膜内应力的折叠结构，且所述折叠结构呈直角弯折，当为了达到更好的应力释放效果而增加折叠结构的数量时，相比于弧形结构，本发明能够有效减小折叠区域所占用的振膜面积。 |
