MEMS麦克风及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210418882.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114640933A | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN114640933A | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | H04R19/04（2006.01）I;H04R7/06（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 吕婷 | 申请（专利权）人 | 瑶芯微电子科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201207上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号3幢405、416室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种MEMS麦克风及其制备方法。该制备方法包括步骤：提供基底，形成第一牺牲层；形成光刻胶层，进行第一次曝光显影定义出第一凹槽；对残余的光刻胶层进行烘烤，以使光刻胶部分熔融，使得第一凹槽的侧壁坡度变缓；进行第二次曝光显影，形成第二凹槽；于第一牺牲层中形成第一凹槽和第二凹槽后，去除残余的光刻胶层；采用保形沉积工艺形成多晶硅层以形成振膜；刻蚀出第一泄气孔；形成第二牺牲层，进行光刻刻蚀，形成第三凹槽；形成背极材料层；形成背板材料层；刻蚀出第六凹槽、振膜引线槽和背极引线槽；形成金属引线；形成空腔；释放出振膜、背极和背板结构。本发明可以有效减小应力集中的问题，提升振膜的机械强度。 |
