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MEMS麦克风及其制备方法

基本信息

申请号	CN202210418883.2	申请日	-
公开（公告）号	CN114640934A	公开（公告）日	2022-06-17
申请公布号	CN114640934A	申请公布日	2022-06-17
分类号	H04R19/04（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I	分类	电通信技术;
发明人	吕婷	申请（专利权）人	瑶芯微电子科技（上海）有限公司
代理机构	上海光华专利事务所（普通合伙）	代理人	-
地址	201207上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号3幢405、416室
法律状态	-

摘要

本发明提供一种MEMS麦克风的制备方法，包括步骤：提供衬底，形成第一牺牲层；于第一牺牲层中形成第一凹凸结构和第二凹槽；形成振膜材料层；形成第二牺牲层，于第二牺牲层中形成第三凹槽；于第二牺牲层上形成背极材料层，刻蚀出第四凹槽和用于形成背极阻挡块的第五凹槽；形成光刻胶层，对光刻胶层进行110‑180℃的高温处理，以使光刻胶层部分融化，使得光刻胶层在拐角处变平缓；于第二牺牲层中形成引线槽；于背极材料层上形成背板材料层，进行光刻刻蚀以形成背板结构；形成背极引线和形成振膜引线；刻蚀出空腔；进行刻蚀，以释放出振膜结构、背极结构和背板结构。本发明可以有效改善背板的应力分布，提升背板机械强度和MEMS麦克风的可靠性。