一种MEMS麦克风结构
基本信息
| 申请号 | CN202011642749.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114697840A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114697840A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 王青松 | 申请（专利权）人 | 瑶芯微电子科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201207上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区芳春路400号1幢3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种MEMS麦克风结构，包括振膜、背极、背板、一中心声孔及多个外围声孔，其中，背极位于振膜上方，并在垂直方向上与背极间隔预设距离以形成气隙；背板的至少一部分连接于背极的上表面以支撑背极；中心声孔位于背极的中心，并在垂直方向上贯穿背极与背板；多个外围声孔分布于中心声孔的外围，并以中心声孔为中心呈同心圆分布，背极的边缘不经过任意一外围声孔。本发明优化了声孔的排列分布方式，可以较容易控制背极边缘位于两圈呈同心圆分布的外围声孔之间，而不与开有声孔的背板部位相交，从而有效减小背极边缘与背板交界处的应力集中，避免其容易受到应力集中作用的部分产生裂纹而损坏，从而提高了MEMS麦克风的机械可靠性。 |
