一种用于零部件表面处理的酸蚀槽
基本信息
申请号 | CN202022949386.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215069886U | 公开(公告)日 | 2021-12-07 |
申请公布号 | CN215069886U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I;B01D46/12(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 黎纠 | 申请(专利权)人 | 帝京半导体科技(苏州)有限公司 |
代理机构 | 杭州知杭知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 夏艳 |
地址 | 215000江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼8楼803-2 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种用于零部件表面处理的酸蚀槽,属于技术领域,其包括槽体,所述槽体内部设有一酸蚀腔,所述槽体一侧前后相称设有滑槽,所述滑槽驱动连接有电动滑块,所述电动滑块通过第一固定轴转动连接有盖体,所述盖体侧端贯通设置有活动槽,所述滑槽侧端面固定设置有与所述活动槽适应的第二固定轴,所述槽体靠近第一固定轴一端设置有避让区。本实用新型通过滑槽以及电动滑块带动盖体绕第二固定轴转动,而且能够在滑动槽的调整控制下,将转动过程变得平缓,避免发生危险;而且通过在盖体上设置气体净化器和气体收集部件能够较好地对酸蚀过程中产生的不同气体进行处理,而且因为第一过滤板和第二过滤板均能够拆卸,所以使用和更换方便。 |
