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一种用于半导体设备零部件的阳极氧化装置

基本信息

申请号 CN202022949368.6 申请日 -
公开（公告）号 CN213925079U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213925079U 申请公布日 2021-08-10
分类号 C25D11/02（2006.01）I;C25D17/00（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分类 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人 黎纠 申请（专利权）人 帝京半导体科技（苏州）有限公司
代理机构 杭州知杭知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 夏艳
地址 215000江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼8楼803-2
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种用于半导体设备零部件的阳极氧化装置,属于氧化设备技术领域，其包括包括箱体，所述箱体内部开设有氧化腔，且上部开口，所述氧化腔两侧设置有传动腔，所述传动腔内部设置有第一丝杠，所述传动腔上部设置有第一驱动室，所述第一驱动室内部固定安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机输出轴与所述第一丝杠通过联轴器连接，所述第一丝杠外缘螺纹套接有第一滑块，所述第一滑块外缘固定连接有连接板。本实用新型能够灵活地对工件进行夹持，并且适应不同尺寸的工件，无需多次调整，省去了较多工序，提高了工作效率；通过设置的第一丝杠和第一滑块能够方便地调节夹持杆的高度位置，方便工件下深到不同部位，有助于实验数据的采集。