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去除固体硅中硼杂质的方法

基本信息

申请号 CN201010202674.1 申请日 -
公开（公告）号 CN102285657B 公开（公告）日 2013-03-20
申请公布号 CN102285657B 申请公布日 2013-03-20
分类号 C01B33/037(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 史珺;佟晨;宗卫峰;水川 申请（专利权）人 上海普罗新能源有限公司
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 上海普罗新能源有限公司
地址 201206 上海市浦东新区惠南镇宣黄公路2455弄6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种去除固体硅中硼杂质的方法，步骤一、将含有硼杂质的固体硅粉碎形成硅粉；步骤二、将硅粉放入一加热炉中并进行氧化，在硅粉颗粒的表面形成二氧化硅层，利用高温以及形成的硅和二氧化硅固体界面促使硅粉颗粒中靠近表面的硼向二氧化硅中转移、硅粉颗粒中间的硼向表面边缘扩散；步骤三、氧化的同时还对硅粉颗粒进行吹氧，促使二氧化硅中的硼氧化并逸出，并随氧气氛被排出加热炉腔；步骤四、降温取出硅粉，用氢氟酸去除硅粉颗粒表面形成的二氧化硅层。本发明能以很低的成本去除硅中的硼元素，从而降低硅中的硼浓度，且能够使硼浓度很容易从工艺上得到控制。