一种提高多层镀覆材料胶接性能的表面处理方法

基本信息

申请号 CN202111567609.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113937007A 公开(公告)日 2022-01-14
申请公布号 CN113937007A 申请公布日 2022-01-14
分类号 H01L21/48(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;B23K26/0622(2014.01)I;B23K26/352(2014.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘伟恒;陈志钊;徐俊 申请(专利权)人 广东华智芯电子科技有限公司
代理机构 佛山市正则青芒专利代理事务所(普通合伙) 代理人 温甲平
地址 528000广东省佛山市南海区狮山镇软件园桃园路南海产业智库城一期A座A616、A618室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种提高多层镀覆材料胶接性能的表面处理方法,涉及集成电路封装技术领域,包括设置表面处理区域图层,功率为5‑10W,频率为50‑70KHz的第一激光按照表面处理区域图层对多层镀覆材料表面进行预处理,功率为15‑20W,频率为30‑50KHz的第二激光按照表面处理区域图层进行二次处理,然后进行超声波水洗处理以及干燥处理。本发明的表面处理方法能够任意去除所需的一层或多层镀层,同时可以使胶接区域满足胶接强度要求及封装的气密性要求,有效提高多层镀覆材料的胶接性能。