一种红外探测器及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010875005.4 申请日 -
公开(公告)号 CN112071926A 公开(公告)日 2020-12-11
申请公布号 CN112071926A 申请公布日 2020-12-11
分类号 H01L31/0352(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨为家;邱晨;吴质朴;何畏 申请(专利权)人 深圳市奥伦德元器件有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 深圳市奥伦德元器件有限公司
地址 518100广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路天安数码创业园1号厂房B座3楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种红外探测器及其制备方法,包括:光电二极管,包括上表面和下表面;薄膜,设置于光电二极管的上表面;纳米点,设置于薄膜的表面;第一电极,设置于纳米点的表面;纳米柱阵列,设置于光电二极管的下表面;第二电极,包括与纳米柱阵列相配合连接的纳米孔阵列,第二电极通过纳米孔阵列连接到光电二极管的下表面。金属纳米孔阵列具有表面等离激元增强效应,可以增强对红外光的吸收效率,根据不同的吸收波段,并且可以调节孔径及其分布,从而达到最佳效果。纳米点具有较为显著的量子效应,可提高红外探测器对红外光的吸收效率和灵敏度。