一种红外探测器及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202010875005.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112071926A | 公开(公告)日 | 2020-12-11 |
申请公布号 | CN112071926A | 申请公布日 | 2020-12-11 |
分类号 | H01L31/0352(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 杨为家;邱晨;吴质朴;何畏 | 申请(专利权)人 | 深圳市奥伦德元器件有限公司 |
代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 深圳市奥伦德元器件有限公司 |
地址 | 518100广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路天安数码创业园1号厂房B座3楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种红外探测器及其制备方法,包括:光电二极管,包括上表面和下表面;薄膜,设置于光电二极管的上表面;纳米点,设置于薄膜的表面;第一电极,设置于纳米点的表面;纳米柱阵列,设置于光电二极管的下表面;第二电极,包括与纳米柱阵列相配合连接的纳米孔阵列,第二电极通过纳米孔阵列连接到光电二极管的下表面。金属纳米孔阵列具有表面等离激元增强效应,可以增强对红外光的吸收效率,根据不同的吸收波段,并且可以调节孔径及其分布,从而达到最佳效果。纳米点具有较为显著的量子效应,可提高红外探测器对红外光的吸收效率和灵敏度。 |
