红外探测器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010358791.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111584659B | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN111584659B | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | H01L31/0352（2006.01）I;H01L31/109（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H03K17/78（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨为家;何畏;林士修;吴质朴 | 申请（专利权）人 | 深圳市奥伦德元器件有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 孙浩 |
| 地址 | 518100广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路天安数码创业园1号厂房B座3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种红外探测器及其制备方法，其中，红外探测器包括：金属电极，以及自下而上依次设置的衬底、砷化镓基层和石墨烯层；衬底上设置有与砷化镓基层相平行的长条阵列式凹槽，砷化镓基层设置于长条阵列式凹槽上，砷化镓基层表面具有砷化铟量子点，金属电极设置在所述砷化镓基层两端。本发明中，通过在砷化镓基层表面设置砷化铟量子点，同时能够使得砷化镓基层相对该长条阵列式凹槽进行横向生长，从而可提高砷化镓基层的光响应能力，缩短红外探测器的响应时间，通过石墨烯层、砷化镓基层以及金属电极之间的配合，能够提高对于光生载流子的提取效率，提升红外探测器的灵敏度。 |
