具有大深宽比嵌入式金属线的转接板及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201680058415.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108475659A | 公开（公告）日 | 2018-08-31 |
| 申请公布号 | CN108475659A | 申请公布日 | 2018-08-31 |
| 分类号 | H01L21/768;H01L21/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 方向明;伍荣翔;单建安 | 申请（专利权）人 | 深圳线易科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 深圳市中知专利商标代理有限公司 | 代理人 | 深圳线易科技有限责任公司 |
| 地址 | 518031 广东省深圳市福田区华强北街道华富路航都大厦14层1450 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种具有大深宽比嵌入式金属线的转接板及其制造方法，该转接板(700)的金属线(722,724)嵌入设置在衬底(710)内，金属线的深度与宽度的比值不小于1。转接板的制造方法包括对转接板的衬底(1301)进行单面刻蚀，先刻蚀填充金属导电体的孔，然后再同时刻蚀填充金属导电体的孔(1316)和金属线的槽(1317)。在转接板衬底中嵌入大深宽比的金属线，在不增加金属线宽度的条件下，保持高的金属线布线密度，减小金属线的寄生电阻和寄生电感，提高转接板的功率传输效率和信号传输带宽，用单面工艺方法制造大深宽比嵌入式金属线和通孔，工艺简单，成本低。 |
