一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法

基本信息

申请号	CN202110910738.1	申请日	-
公开（公告）号	CN113353940B	公开（公告）日	2021-11-26
申请公布号	CN113353940B	申请公布日	2021-11-26
分类号	C01B33/10;C01D3/02;C01D9/12	分类	无机化学;
发明人	陈福泰;褚永前;杨艳;刘兴甜	申请（专利权）人	北京清大国华环境技术有限公司
代理机构	北京维正专利代理有限公司	代理人	李爱民
地址	100089 北京市海淀区上地三街9号C幢C404
法律状态	-

摘要

本申请涉及工业废水处理和资源回收利用技术领域，具体公开了一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法，包括：测定含氟废液中SiF₆^2‑、F^‑和SO₄^2‑的浓度；向含氟废液中加入氢氧化钠的水溶液进行一次中和反应，得一次处理废液和氟硅酸钠；向一次处理废液中加入氢氧化钠进行二次中和反应，得二次处理废液和氟化钠；二次处理废液经过蒸发浓缩析出含有氟化钠的沉淀物，得含有氟化钠的沉淀物和三次处理废液；向三次处理废液中加入硝酸钙，得固体废料和四次处理废液；四次处理废液经过结晶得五次处理废液和硝酸钠。本申请将含氟废液的有效成分转化为可回收利用资源，解决含氟废液对环境的污染问题，且处理成本低，资源化产品价值高。