一种含铜蚀刻废液回收装置和含铜蚀刻废液回收方法
基本信息
| 申请号 | CN202111297278.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113737184A | 公开（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申请公布号 | CN113737184A | 申请公布日 | 2021-12-03 |
| 分类号 | C23F1/46（2006.01）I;C01B7/01（2006.01）I;C01G3/10（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈福泰;解迪;郝福锦;褚永前 | 申请（专利权）人 | 北京清大国华环境技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 李爱民 |
| 地址 | 100089北京市海淀区上地三街9号C幢C404 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请具体公开了一种含铜蚀刻废液回收装置和含铜蚀刻废液回收方法,含铜蚀刻废液回收装置包括蒸发结晶机构，粉末回收机构，喷淋回收机构；所述蒸发结晶机构包括壳体，壳体内设置有支撑柱，支撑柱上转动连接有加热板，加热板上方设置有结晶喷淋头，壳体内还设置有真空泵，所述粉末回收机构包括刮刀；所述喷淋回收机构包括喷淋回收仓，喷淋回收仓内设置有回收喷淋头。含铜蚀刻废液回收方法包括以下步骤，S1原液检测；S2使用硫酸和氢氧化铜调节废液中铜离子浓度与硫酸根离子浓度相等；S3使用含铜蚀刻废液回收装置处理废液。本申请的处理方法具有简化含铜废液处理步骤的优点。 |
