一种基于红外热成像的缺陷检测方法、装置及系统

基本信息

申请号 CN202010189574.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113406145A 公开(公告)日 2021-09-17
申请公布号 CN113406145A 申请公布日 2021-09-17
分类号 G01N25/72(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 马宏 申请(专利权)人 觉芯电子(无锡)有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 郝传鑫;贾允
地址 214000江苏省无锡市滨湖区菱湖大道200号中国传感网国际创新园A802
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于红外热成像的缺陷检测方法、装置及系统,所述方法包括:向待测件发射第一方向激光束;获取所述待测件表面的热成像信息,生成第一数据;向所述待测件发射第二方向激光束,所述第二方向与所述第一方向相交;获取得到待测件表面的热成像信息,生成第二数据;根据所述第一数据和所述第二数据,获取所述待测件表面的缺陷信息,激光先后从两个或者多个不同角度对待测件进行激励,克服了从单一角度照射时某些方向的裂纹缺陷对比度低的缺点,提高了信噪比,使漏检率显著降低,满足工业生产线上大批量零件的检测需求,实现微米级高精度和高效率检测,配合相应的自动化分拣装置,可方便地实现生产线上的自动化检测和筛选。