一种集成透镜阵列的微镜、微镜制备方法及激光显示系统
基本信息
| 申请号 | CN201911256973.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113031256A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113031256A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | G02B26/08;G02B3/00;G03F7/00;B82Y40/00;B82Y20/00;B81C1/00;B81B7/02;G02B27/48 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 马宏 | 申请（专利权）人 | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郝传鑫;贾允 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市滨湖区菱湖大道200号中国传感网国际创新园A802 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种集成透镜阵列的微镜，所述微镜包括基材层、反射层和透镜层，所述反射层设于所述基材层上方的特定区域内，所述透镜层位于所述反射层的上方，且所述透镜层为通过纳米压印或纳米打印或光刻胶热熔工艺制成；所述透镜层为微透镜阵列或菲涅尔透镜阵列。本发明透镜阵列层由纳米压印技术或纳米打印技术制造，其单元透镜的口径与精度高，散斑抑制效果好，同时，通过设计合理的微纳结构以及改进加工方式，降低光能损失，有利于进行激光显示。 |
