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一种硅片切割机用切削液过滤装置

基本信息

申请号 CN201510640388.6 申请日 -
公开（公告）号 CN105233564B 公开（公告）日 2017-10-27
申请公布号 CN105233564B 申请公布日 2017-10-27
分类号 B01D36/04(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 陈小力;刘佳 申请（专利权）人 浙江辉弘光能股份有限公司
代理机构 杭州华鼎知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 浙江辉弘光电能源有限公司;浙江辉弘光能股份有限公司
地址 314200 浙江省嘉兴市平湖市经济开发区新兴三路899号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种硅片切割机用切削液过滤装置，解决了现有技术中硅片切割机用切削液过滤系统过滤效果差的不足。本发明提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，在上腔内设置沉淀腔，并且沉淀腔内设有缓冲腔，经进水口进入的水流先经导向管，并由导向管将水流导入缓冲腔内，水流经缓冲腔缓冲后溢入沉淀腔内进行沉淀，最后经沉淀后的水流经过滤网过滤后进入下腔并由出水口排出循环使用；通过在沉淀腔内设置缓冲腔，避免了由进水口进入的水流冲击沉淀腔内的水，优化了沉淀腔的沉淀效果，从而提高了过滤装置的过滤效果，提高了切削液的水质。