一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装

基本信息

申请号 CN202022224972.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213301042U 公开(公告)日 2021-05-28
申请公布号 CN213301042U 申请公布日 2021-05-28
分类号 G01B5/06(2006.01)I 分类 -
发明人 卜俊鹏 申请(专利权)人 浙江康鹏半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 321100浙江省金华市兰溪市兰江街道创新大道1199号(自主申报)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及质量检测技术领域,且公开了一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装,包括测量箱,所述测量箱内壁顶部固定安装有滑轨,所述滑轨底部滑动连接有齿条板,所述测量箱内壁前后两侧之间固定安装有固定杆,所述固定杆外侧活动连接有与齿条板底部啮合的第一齿轮,所述测量箱内壁后侧固定安装有位于固定杆下方的固定轴,所述固定轴前侧活动连接有与第一齿轮啮合的第二齿轮,所述第二齿轮前侧固定连接有一端延伸至测量箱前侧的转动轴。该砷化镓抛光片样品厚度测量工装,将样品水平放置从前至后由固定轮与活动轮之间接触点滑入,指针偏转,即可将抛光片的厚度测量值进行放大,方便了使用者使用。