在线往复式蚀刻喷淋装置
基本信息
| 申请号 | CN202110428138.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113005455A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113005455A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | C23F1/02;C23F1/08 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈利解;魏静;门松明珠;周爱和 | 申请（专利权）人 | 昆山一鼎工业科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州至善至诚专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵旭 |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇望山北路399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在线往复式蚀刻喷淋装置，包括：驱动组件；传动组件，传动组件具有一个输入端和两个输出端，传动组件的输入端与驱动组件相连；上喷淋组件，上喷淋组件与一输出端相连，驱动部件通过传动组件驱动上喷淋组件往复运动；下喷淋组件，下喷淋组件设于上喷淋组件的下方，且与上喷淋组件相对设置，下喷淋组件与另一输出端相连，驱动部件通过传动组件驱动下喷淋组件往复运动。本发明结构简单且灵活，利用相对设置的上喷淋组件和下喷淋组件对产品同时进行蚀刻喷淋实现了双面喷淋，利用传动组件将驱动组件的动力同时传输给上喷淋组件和下喷淋组件，减少了动力部件的使用数量。 |
