一种电子束钛膜支撑装置
基本信息
| 申请号 | CN201620292581.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205582879U | 公开（公告）日 | 2016-09-14 |
| 申请公布号 | CN205582879U | 申请公布日 | 2016-09-14 |
| 分类号 | H01J29/02(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐斌;蔡莉;赵跃春;姚江涛 | 申请（专利权）人 | 安徽戈瑞电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 230001 安徽省合肥市高新区动漫和服务外包产业发展基地B1座南楼606室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电子束钛膜支撑装置，包括钛膜和支撑板，所述钛膜上依次排列多组支撑板，所述多组支撑板之间为真空室，所述支撑板每组间隔距离为5㎜?10㎜，所述支撑板板宽为0.5㎜?1.0㎜，所述支撑板板高为5㎜?8㎜。本新型可以采用大面积的电子束输出窗，使用较薄的钛膜，使钛膜在支撑结构下局部变形比较小，也比较均匀。 |
