一种晶圆研磨自动上料机器臂
基本信息
| 申请号 | CN202020951504.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212218154U | 公开（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申请公布号 | CN212218154U | 申请公布日 | 2020-12-25 |
| 分类号 | B24B37/04(2012.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王印玺 | 申请（专利权）人 | 江苏澳芯微电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路北侧、华山路西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆研磨自动上料机器臂，包括机器台和转珠，所述机器台的内部设置有微型电机，且微型电机的两侧均设置有第一固定栓，所述第一固定栓的一侧设置有转轴，且转轴的一侧设置有散热框，所述转珠均设置在机器台的上方，且转珠的上方设置有卡块，所述卡块的一侧设置有第一电动推杆，且第一电动推杆的上方两侧均设置有连接块，所述连接块的内侧设置有第二固定栓，且第二固定栓的上方设置有支撑架。该晶圆研磨自动上料机器臂中，旋转杆与第三电动推杆对滑动套起到旋转作用，在日常使用中，滑动套的设置便于对装置进行固定，同时滑动套对拉钩螺纹固定作用，便于对拉钩进行更换。 |
