一种GaN基LED外延结构及其生长方法
基本信息
申请号 | CN201310268414.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103337572A | 公开(公告)日 | 2013-10-02 |
申请公布号 | CN103337572A | 申请公布日 | 2013-10-02 |
分类号 | H01L33/12(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 罗绍军;李鸿建;艾常涛;靳彩霞;董志江 | 申请(专利权)人 | 迪源光电股份有限公司 |
代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨立 |
地址 | 430205 湖北省武汉市东湖高新技术开发区光谷一路227号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种GaN基LED外延结构及其生长方法。该GaN基LED外延结构由下向上依次包括蓝宝石衬底层、GaN成核层、非故意掺杂u-GaN层、N型掺杂GaN层、第一电子储存区、GaN隔层、第二电子储存区、有源区多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层、接触层。本发明的GaN基LED外延结构及其生长方法,能够减小有源区材料的应力,提高GaN基LED的发光效率,提高晶体材料质量。 |
