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一种鼓泡分片设备

基本信息

申请号 CN201110168754.4 申请日 -
公开（公告）号 CN102842639A 公开（公告）日 2012-12-26
申请公布号 CN102842639A 申请公布日 2012-12-26
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 徐锡文 申请（专利权）人 扬州华尔光伏科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） 代理人 徐激波
地址 225636 江苏省扬州市高邮市甘垛镇工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种鼓泡分片设备，包括不锈钢水箱、硅片承载框、加热装置、不锈钢管、通气管、水油分离器和硅片工件板，所述不锈钢水箱的内壁安装有加热装置，所述硅片承载框安装于不锈钢水箱内，不锈钢水箱的底部设有不锈钢管，不锈钢管上设有多个气眼，不锈钢管与不锈钢水箱外部的通气管相连接，通气管上设有水油分离器，硅片承载框安装有硅片工件板。本发明的整体设计合理，操作简单，使用本鼓泡分片设备，一次性可以处理两块工件板上的硅片，更好的实现了节约人力物力的目的，同时因为整个过程的可控性，减少了人工扒片造成的崩边、裂片等不良品的出现，提高了整体成品率。