一种单晶硅生产用排气式石墨坩埚
基本信息
| 申请号 | CN202121039140.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215947454U | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN215947454U | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | C30B15/12（2006.01）I;C30B15/02（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 满新哲;郑振霞;郏建伟 | 申请（专利权）人 | 山东恒圣石墨科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 272400山东省济宁市嘉祥县万张工业园（德丰重工公司西80米） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种单晶硅生产用排气式石墨坩埚，炉体内设保温筒，炉体与保温筒之间设保温毡，保温筒内设加热器，加热器固定在炉体底部且与炉体底部的加热电极相连接，炉体下表面中部贯穿固定坩埚轴，坩埚轴上端设坩埚托盘，坩埚托盘上表面放置石墨坩埚，石墨坩埚外侧壁开设螺纹形凹槽，石墨坩埚内设石英坩埚，保温毡、保温筒上表面放置同一个保温盖，保温盖与炉体固定，倒流筒下部插入石英坩埚上部，倒流筒上部与保温盖下表面内侧固定，真空抽管依次固定贯穿炉体、保温毡、保温筒下部，炉体一侧设抽气泵，抽气泵上的进气口与真空抽管通过软管连通固定。本实用新型有益效果：石墨坩埚不会被涨破。 |
