一种靶材清洗烘干装置

基本信息

申请号 CN202120460802.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214488114U 公开(公告)日 2021-10-26
申请公布号 CN214488114U 申请公布日 2021-10-26
分类号 B08B3/12(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;F26B9/06(2006.01)I;F26B5/08(2006.01)I;F26B5/04(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 念雯雯;李帅方;李金龙;毛会艳 申请(专利权)人 洛阳丰联科绑定技术有限公司
代理机构 郑州知己知识产权代理有限公司 代理人 杨小燕
地址 471100河南省洛阳市空港产业集聚区隆华大道66号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种靶材清洗烘干装置,包括支撑腿、箱体和设置在箱体上方的箱盖,所述箱体固定设置在支撑腿上,所述箱体底部一侧设置排水管,所述箱体底部设置烘干板,所述箱体内部两侧靠近箱体底部的位置设置防水超声振子,所述箱体内部放置靶材放置架,所述箱盖上方两侧设置两个进水口,所述两个进水口中间位置设置真空抽气机,所述真空抽气机通过抽气管与箱体内部相连通。本实用新型使靶材一次完成清洗烘干,消除靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品,缩小设备占用空间,节省设备成本,简化工艺流程,且经过干燥后的靶材产品表面不会残留任何痕迹,清洁度高,烘干加热时间短,工作效率高。