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一种便于平面靶材翻转的靶材放置装置

基本信息

申请号 CN202120628493.9 申请日 -
公开（公告）号 CN214777321U 公开（公告）日 2021-11-19
申请公布号 CN214777321U 申请公布日 2021-11-19
分类号 B65D19/06（2006.01）I;B65D19/38（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 念雯雯;李帅方;李金龙 申请（专利权）人 洛阳丰联科绑定技术有限公司
代理机构 郑州知己知识产权代理有限公司 代理人 杨小燕
地址 471100河南省洛阳市孟津县常袋镇半坡村隆华大道66号
法律状态 -

摘要

摘要 一种便于平面靶材翻转的靶材放置装置，属于半导体制造技术领域，包括箱体和设置在箱体底部的若干支座，箱体内部设置内衬，内衬上设置若干靶材基座，靶材基座上部放置第一承重板，第一承重板上部放置第二承重板，箱体两端对称位置设置开口，第二承重板内部沿水平方向中心轴设置一根转轴，开口外侧设置油压千斤顶，油压千斤顶的调节螺杆上部设置支撑件，转轴的两端从所述开口处伸出与支撑件活动连接，第二承重板上表面放置靶材背板，靶材背板上部为绑定后的靶材，靶材背板通过螺栓与第二承重板固定连接。本实用新型可以自动省力的将待检查的靶材进行翻转，平且在翻转和存放的过程中能够有效减少靶材的形变，从而保证靶材的质量。