一种平面靶材研磨装置

基本信息

申请号 CN202121088999.1 申请日 -
公开(公告)号 CN215281451U 公开(公告)日 2021-12-24
申请公布号 CN215281451U 申请公布日 2021-12-24
分类号 B24B37/00(2012.01)I;B24B37/11(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B47/22(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 李帅方;张雪凤;念雯雯 申请(专利权)人 洛阳丰联科绑定技术有限公司
代理机构 洛阳公信联创知识产权代理有限公司 代理人 孙笑飞
地址 471000河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号(孟津县常袋镇半坡村)
法律状态 -

摘要

摘要 一种平面靶材研磨装置,包括箱体、位于箱体内底部的定位组件和位于箱体内顶部的研磨组件;定位组件包括设置在箱体内底部的支撑座和两个相对设置在支撑座上端用于压紧平面靶材的转角下压气缸,两个转角下压气缸背离的侧面均水平设有伺服电缸A,伺服电缸A用于带动转角下压气缸左右移动;研磨组件包括从上到下依次设置在箱体内顶部的水平移动装置、升降装置和旋转装置,水平移动装置用于带动升降装置左右移动,升降装置用于带动旋转装置上下移动,旋转装置竖直设置且输出轴端部水平设有细磨盘。本实用新型结构简单,无需手工研磨,研磨效率高,研磨后产品一致性好。