省水型晶圆清洗机
基本信息
| 申请号 | CN202121309843.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214865752U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214865752U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 方廷宇;游礼仲;许忠信;张峰;李东冉 | 申请（专利权）人 | 山东强茂电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000山东省淄博市高新区中润大道186号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种省水型晶圆清洗机。该技术方案摒弃了常规的冲洗模式，采用超声波进行静态清洗，在此基础上，围绕超声波清洗槽设计了自动化的上下料机构。具体来看，本实用新型将超声波清洗槽固定于基台上，两侧分别设置置物架和沥水架，二者可在升降机构驱动下升降，从而实现半自动化的上下料功能；在超声波清洗槽后侧，采用滑台、电动推杆、转盘构建了三自由度的运动机构，该运动机构末端设置吸盘式机械手，用于吸取晶圆；依托于三自由度的复合运动，使吸盘式机械手上的晶圆可沿弧线经过超声波清洗槽，并停留一定时间，从而达到清洗目的。与常规晶圆清洗机相比，本实用新型更加省水，且清洗速度较快，具有良好的使用效果。 |
