改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机
基本信息
| 申请号 | CN202121310450.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215823527U | 公开（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申请公布号 | CN215823527U | 申请公布日 | 2022-02-15 |
| 分类号 | B05C11/10（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 方廷宇;游礼仲;许忠信;王永震;袁斌 | 申请（专利权）人 | 山东强茂电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000山东省淄博市高新区中润大道186号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机。其构造为：在漏斗的上端口处固定连接有陶瓷罐，在漏斗的上端口处、位于漏斗与陶瓷罐之间的位置固定连接有筛网，在漏斗的变径部下端固定连接有滤网，在漏斗的上端口内壁上固定连接有若干固定杆；筛网包括同心环，折角连接杆，挂环，所述同心环有若干个，在若干同心环之间固定连接有折角连接杆，在位于最外圈的同心环上固定连接有若干挂环；挂环挂接在固定杆上。本实用新型在漏斗的上端口处增设了由金属丝构成的筛网，使球石得以架高，使得DB胶可以快速与球石分开，直接通过漏斗进入玻璃瓶，倒胶结束后球石上完全干净，无DB胶残留。新滤网间隙大，DB胶通过较顺畅。 |
