新型低耗显影机
基本信息
| 申请号 | CN202121601410.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214896210U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214896210U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 方廷宇;游礼仲;许忠信;王永震;唐守庄 | 申请（专利权）人 | 山东强茂电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000山东省淄博市高新区中润大道186号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种新型低耗显影机。该技术方案对显影机的容纳机构进行了集中改进。具体来看，本实用新型在不改变显影原理的前提下，将仓体设计为圆柱形结构，在仓体侧壁设置若干门体，可分别进料；仓体内部设置转盘机构，利用转盘上的多个托盘可同时承载多个晶圆，位于上方的电机可驱动支架在转盘上方旋转，从而将罩体定位至多个托盘上方，进而笼罩在晶圆外部。此外，本实用新型在仓体上增设了真空泵，可在显影过程中构建负压环境，以减少外部环境因素对显影工艺的影响。应用本实用新型，可显著提高显影工艺效率，并降低能耗水平，从而提高整体工艺水平。 |
