新型晶圆晶舟
基本信息
| 申请号 | CN202121600509.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214898360U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214898360U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 方廷宇;游礼仲;许忠信;张峰;李东冉;唐守庄 | 申请（专利权）人 | 山东强茂电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000山东省淄博市高新区中润大道186号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种新型晶圆晶舟。其构造为：在承载平面的上端边缘固定连接有若干长方体立柱，在相对的长方体立柱之间固定连接有连接杆，在长方体立柱的内侧具有倒角，承载平面、长方体立柱、连接杆均为石英材质。本实用新型将垂直立柱由原来的圆柱体，改为长方体立柱，可能接触到晶片的位置做了倒圆角处理，增了垂直立柱的强度，防止1200℃高温下发生变形；为了防止在转运过程中晶片侧滑，在加工时表面做了磨砂处理。在使用寿命方面：在无外力撞击及人为磕碰，1200℃高温制程状况下，碳化硅材质明显要优于石英材质；在维护费用方面：一旦发生破损，需要委外维修的维护费用，石英材质明显要优于碳化硅材质。 |
