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新型串口通信协议自动点测机

基本信息

申请号 CN202121310451.7 申请日 -
公开（公告）号 CN214894893U 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN214894893U 申请公布日 2021-11-26
分类号 G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 方廷宇;游礼仲;许忠信;张峰;李东冉;唐守庄 申请（专利权）人 山东强茂电子科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 255000山东省淄博市高新区中润大道186号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种新型串口通信协议自动点测机。该技术方案对传感器的承载模式及其定位机构进行了集中改进。具体来看，本实用新型以机台起到基础承载作用，在机台上设置带有升降架的滑车，承载臂插接在升降架上，其前端固定有传感器；基于这种构造，可自由调节传感器的高度及其前后位置，还可利用滑车将传感器上的探头在槽体中自由定位，定位完毕后可通过锁紧螺钉及顶丝予以固定，从而充分扩展了设备的运动自由度。此外，本实用新型在探头下端设置了扩展槽，可利用其安装带有滑轮的定位杆，当探头沿槽体平移时，滑轮可全程与待测晶圆接触，起到定位作用，使线性检测时探头的稳定性更好，有助于保证检测精度。