新型晶圆低耗氮清洗后旋干机
基本信息
| 申请号 | CN202121601409.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214892392U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214892392U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | F26B11/18（2006.01）I;F26B5/04（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 方廷宇;游礼仲;许忠信;王永震;宋汝明 | 申请（专利权）人 | 山东强茂电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000山东省淄博市高新区中润大道186号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种新型晶圆低耗氮清洗后旋干机。该技术方案对旋干机的内部构造进行了创新性改进。具体来看，本实用新型采用单转轴驱动，在单转轴上纵向排列多个转盘，从而在有限的空间中充分扩大了承载能力；同时，转盘上设置多个带有卡爪的托盘，可对晶圆起到有效的固定作用；机仓内部设置排水管和气体调节管，其中气体调节管可连接至氮气气源或真空泵，从而引入氮气保护或构建真空环境，进而提升干燥速度。应用本实用新型，可显著增进处理效率和干燥速度，具有良好的使用效果和突出的技术优势。 |
