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一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置

基本信息

申请号 CN202022960201.X 申请日 -
公开（公告）号 CN213943205U 公开（公告）日 2021-08-13
申请公布号 CN213943205U 申请公布日 2021-08-13
分类号 B01L7/00（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 赵天雪 申请（专利权）人 成都伍田机械技术有限责任公司
代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 代理人 徐佳慧
地址 610000四川省成都市新津县工业园区A区兴园8路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置，包括外基座以及外基座上固定连接的加热设备，所述外基座内腔间隙配合有内托盘、外坩埚壳以及内坩埚壳，所述外基座内腔固定连接有挡口，内坩埚壳外侧固定连接有第一挡盘，所述挡口与第一挡盘抵接，所述内托盘底端开设有开口槽，所述内托盘顶端与第二挡盘抵接。本实用新型中，采用空腔式侧壁预热机构，实现了对于内坩埚壳以及外坩埚壳进行方便的预热操作，采用了滑道式间距可调贴合加热结构，实现了内坩埚壳与外坩埚壳之间的贴合以及侧向加热使用。