一种VDMOS芯片及其电路应用结构

基本信息

申请号 CN202122088554.X 申请日 -
公开(公告)号 CN215896409U 公开(公告)日 2022-02-22
申请公布号 CN215896409U 申请公布日 2022-02-22
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I;H03K17/687(2006.01)I;H03K7/08(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨正友;任炜强;谢文华 申请(专利权)人 深圳真茂佳半导体有限公司
代理机构 北京维正专利代理有限公司 代理人 朱鹏程
地址 518000广东省深圳市南山区西丽街道沙河西路健兴科技大厦C座310
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种VDMOS芯片及其电路应用结构,包括半导体基座,半导体基座分为源区、漂移区和基体区,源区上贯穿设置有沟槽,且沟槽贯穿漂移区并延伸到基体区中,源区和基体区极性相同,源区和漂移区极性相反;基体区远离漂移区的一侧设置有漏极金属层,源区远离漂移区的一侧设置有源极金属层;沟槽内设置有栅极金属层,栅极金属层与沟槽内壁之间设置有绝缘层;栅极金属层上设置有屏蔽层,屏蔽层的两端分别延伸至沟槽两侧的源区上;栅极金属层上设置有栅极引出线,栅极引出线穿设在屏蔽层上且端部位于屏蔽层外。本申请具有消除VDMOS芯片内部高速开关引起的高频谐振从沟槽中辐射至外界,减小对外围电路的电磁干扰的效果。