一种柔性压力传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710323458.4 申请日 -
公开(公告)号 CN106959176B 公开(公告)日 2019-06-07
申请公布号 CN106959176B 申请公布日 2019-06-07
分类号 G01L1/14(2006.01)I; G01L9/12(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘国栋; 郑娜; 肖国辉 申请(专利权)人 芜湖芯硅智电子科技有限公司
代理机构 南昌大牛专利代理事务所(普通合伙) 代理人 喻莎
地址 330000 江西省南昌市红谷滩新区红角洲学府大道589号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供的一种柔性压力传感器及其制备方法,包括上电极、下电极和介电层,所述上电极、下电极为金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极,所述介电层为聚氨酯和去离子水形成的多孔弹性体薄膜。本发明公开的一种柔性压力传感器及其制备方法,测量压强范围广,大大提高低压强状态下的灵敏度,模具制备简单,成本低。