一种柔性压力传感器及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201710323458.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106959176B | 公开(公告)日 | 2019-06-07 |
申请公布号 | CN106959176B | 申请公布日 | 2019-06-07 |
分类号 | G01L1/14(2006.01)I; G01L9/12(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘国栋; 郑娜; 肖国辉 | 申请(专利权)人 | 芜湖芯硅智电子科技有限公司 |
代理机构 | 南昌大牛专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 喻莎 |
地址 | 330000 江西省南昌市红谷滩新区红角洲学府大道589号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供的一种柔性压力传感器及其制备方法,包括上电极、下电极和介电层,所述上电极、下电极为金纳米棒嵌入PDMS的多尺度电极,所述介电层为聚氨酯和去离子水形成的多孔弹性体薄膜。本发明公开的一种柔性压力传感器及其制备方法,测量压强范围广,大大提高低压强状态下的灵敏度,模具制备简单,成本低。 |
